臭氧（O3)是有毒氣體且帶有一種有特殊臭味的淡藍色氣體。在常溫常壓下，穩定性極差，在常溫下可自行分解為氧氣。臭氧具有強烈的刺激性，吸入過量對人體健康有一定危害。在一定的時間吸入一定的濃度將對人體產生不同的反映；如：3.66ppm    1小時   開始發生肺水腫0.91ppm   30分鐘  肺功能障礙0.91ppm   幾分鐘   煩厭感。感到強烈臭氣，有刺激癥狀0.44ppm   12分鐘  眼刺激0.28ppm   15分鐘  呼吸道明顯刺激0.04ppm   30分鐘  輕輕臭氣，對上呼吸道開始有刺激0.009ppm   立刻   嗅覺空氣中臭氧濃度引起人員一定反應的濃度為0.5-1ppm，時間長了會感到口干等不適，濃度在1-4ppm會引起人員咳嗽。因為臭氧作為強氧化劑，臭氧幾乎能與任何生物組織反應。另外，臭氧也具有很強的腐蝕性，在臭氧發生設備和計量設備中，不能用普通橡膠作密封材料，必須采用耐腐蝕能力強的硅橡膠或耐酸橡膠等。